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电子半导体用超纯水设备
半导体清洗CL-6T/h超纯水设备
产品简介  
应用范围: 1、广泛应用于各种半导体晶元清洗; 2、集成线路板清洗; 3、LED、OLED材料清洗用水; 4、应用于各种纳米微粉材料制作用水;
详细说明  

一、工艺流程

   原水 →原水箱→絮凝剂加药系统→石英砂过滤器 → 活性炭过滤器→阻垢剂加药系统/还原剂加药系统→ 保安过滤器 →保安过滤器→高压泵1 → 反渗透系统1 → 中间水箱 →PH调整装置→高压泵2 → 反渗透系统2→ 纯水输送泵→ 精密过滤器→ EDI电除盐系统→高纯水箱→输送泵→抛光混床→ 紫外线杀菌器→ 精密过滤器→ TOC去除器→ 精密过滤器→ 高纯水使用点

二、工艺配置说明

2.1、原水箱及原水泵
    原水箱在工艺中主要用于储存水量,以满足系统的用水量,以适应系统供水量压及水压的变化,减少原水水压变化对系统的冲击。配套有液位控制系统和进水自动控制。
原水泵配套原水池使用,原水泵用于水压的提升,以满足预处理过滤器及反渗透高压泵的进水供水量及工作压力,过流部分均采用不锈钢304材料。
 
2. 2、石英砂过滤器
    石英砂过滤器设计流速为8-15m/h,过滤器内装不同粒径的石英砂滤料,石英砂过滤主要去除水中的悬浮颗粒,降低水的机械杂质,从而最终降低水的混浊度。
在过滤器进出水管道上设有压力表,可显示过滤器的运行压力及进出水的压差,过滤器的反洗根据进出水压差或出水浊度来确定(当进出水压差达到0.1MPa时应进行反洗或浊度大于1度时),由前级自来水来实行过滤器的反洗,为降低反洗强度,过滤器水反洗强度为7-8L/m².S,有条件宜采用气水擦洗法,滤料的反洗膨胀率为40%为宜。
2.3、活性炭过滤器
    活性炭为202型净水专用果壳活性炭,因活性炭在工艺中主要起吸附水中的有机物、余氯;因其比重较轻,反冲洗强度为4-8L/m²·S,滤料的反洗膨胀率为40~50%,反洗时宜选用低流速反洗,以防止活性炭被反洗水冲走。
在活性碳过滤器进出水管道上设有压力表,可显示过滤器的运行压力及进出水的压差,过滤器的反洗根据进出水压差来确定(当进出水压差达到0.1MPa时进行反洗),由反洗水泵来实行过滤器的反洗,活性炭过滤器滤料(活性炭)更换周期以出水的余氯含量≤0.1PPM及有机物含量(CODcr<1.5mg/L)两项指标确定,出水水质应定期监测。
2.4、保安过滤器:
    保安过滤器选用滤芯精度为5um,在工艺中主要用于截留前置管道、设备中可能泄漏的机械杂质或破裂的活性炭颗粒,确保RO进水的清洁度,以防前级过滤器泄漏的机械杂质进入反渗透膜元件,这种颗粒经高压泵加速后可能击穿反渗透膜元件,造成大量盐份的泄漏,同时可能划伤高压泵的叶轮,保安过滤器内的滤元采用聚丙烯喷熔工艺制作,过滤微孔具有:孔形呈锥形结构;过滤效率高,可进入深层过滤;纳污容量大,使用寿命长;采用卡式结构,便于快速更换。
保安过滤器的滤芯应定期更换,一般可根据进出水压差来决定。
保安过滤器进出水管道上均设有压力表,可显示保安过滤器的进出水压力及进出水压差。
 
3、反渗透系统
    反渗透装置在工艺中主要去除水中99%以上的阴、阳离子及有机物、热源和细菌等。反渗透(RO)脱盐系统由RO膜组件、高压泵、RO清洗装置等组成。
3.1反渗透装置
    反渗透是一种借助选择透过(半透过)性膜的功能,以压力为推动力的膜分离技术膜元件,由反渗透膜导流布和中心管等制作而成,将多根RO元件装入不锈钢耐压壳体内,组成RO组件。本工艺脱盐系统的关键,成熟的工艺设计和合理的操作,控制及管理,直接决定着系统的正常、稳定出水。并关系到反渗透膜的使用寿命,经反渗透处理后的出水,去除了绝大部分无机盐和几乎所有的有机物,微生物(细菌、热源等)从而确保了本系统产品水的高质量、高品质。
     完成预处理后的出水其出水由淤积密度指数SDI测试仪监测,当SDI值<4时,即可进入RO系统,由高压泵增压后进入反渗透系统(RO),反渗透出水(脱盐纯水)去中间水箱,另一部分由管道汇集后成浓水(主要含盐份、机械杂质、胶体、有机物等)随小部分未透过水排入下水道。反渗透主体设备选用美国海德能公司生产的高脱盐率低压BW30-400和BW30-365芳香族聚酰胺膜元件。该膜元件属节能型低压膜,是世界上最先进的卷式RO膜元件,具有结构紧凑,产水量特别大(单支RO膜产水量可达1.3t/h),脱盐率高(单支膜试验数据>99.5%),操作压力低,耐细菌侵蚀性好,适用PH范围广(PH为3~10)的优点。
反渗透配套控制系统功能:
  设备配制工作仪表及监视仪表:
  显示系统的运行工况(RO出水电导率、混床出水电阻率、高压泵的开关、进出水流量、压力等参数);
   反渗透高压泵进口设低压保护器,当高压泵进水压力<0.1Mpa时,高压泵自动停止工作。
   反渗透高压泵出口设高压传感器,当工作压力大于某一设定值,高压泵停止运行,以防损坏后级管道及膜元件。
   进水、浓水、淡水阀:主要调节RO进水量、产水量、进水压力、浓水压力及回收率。
电导仪:电导仪用于监测RO进出水电导率的变化情况,温度表显示RO膜在不同温度下产水量的变化。
   高压泵:增压满足RO膜元件进水压力要求。
   止回阀:主要用于停机后,防止RO压力管中的回压而损坏高压泵及泵前低压管道件。
液位自控:主要用于防止停水情况下,高压泵继续运行而使高压泵损坏,另一作用是如中间水箱高位时,可使RO停止运行,防止中间水箱溢流。
清洗系统:反渗透清洗系统由清洗水箱、清洗水泵、清洗过滤器组成,在系统中主要用于反渗装置膜元件的清洗,当反渗透装置运行流量、含盐量或压力下降10%时应配套相应的药剂进行清洗,反渗透装置的清洗形式为分段清洗。
 
4、EDI电除盐系统
    EDI(Electrodeionization)是应用电再生离子交换树脂除盐工艺来取代传统的混合离子交换除盐工艺的一种革命性水处理技术。EDI工艺采用一种离子选择性膜和离子交换树脂夹在直流电压下的两个电极之间,在两极间的直流电源电场从RO预处理过的水中去除离子。流入EDI模块的RO水被分成了三股独立的水流:产水水流、浓水水流和极水水流。EDI工艺从水中去除不想要的离子,依靠在淡水室的树脂吸附离子,然后将它们迁移到浓水室中。离子交换反应在模块的淡水室中进行,在那里阴离子交换树脂释放出氢氧根离子(OH-)而从溶解盐中交换阴离子(如氯化物、Cl-)。同样,阳离子交换树脂释放出氢离子(H+)而从溶解盐中交换阳离子(Na+)。高质量的模块可以连续产生高达18MΩ.CM的高纯水。通过这种技术,可以用较低的能源成本就能去除溶解盐,并且不需要化学再生。
EDI的特点
⑴ 连续运行,产品水水质稳定
⑵ 容易实现全自动控制,操作简单、安全
⑶ 无须用酸碱再生
⑷ 无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施
⑸ 使用安全可靠,避免工人接触酸碱
⑹ 不会因再生而停机
⑺ 节省了再生用水及再生污水处理设施
⑻ 产水率高(可达95%)、
⑼ 占地面积小
⑽ 降低运行及维护成本
⑾ 设备单元模块化,可灵活的组合各种流量的净水设施
⑿ 安装简单、费用低廉
 
5、电气控制柜的功能及系统仪表
    本系统采用西门子触摸屏+PLC集成电路控制方式,在控制面板上设有手动及自动切换开关,设备运行(泵的起停)、监视(出水电导、电阻、流量、压力等)参数,动态显示运行参数及水质变化情况,并且在非正常情况下实现自动报警。系统液位与各工作水泵可实行连锁保护,有利于设备安全运行。

三、主要技术参数

适用行业
半导体清洗用水
进水量
12~15T/H
产水量
6T/H
原水电导率
≤800μs/cm
出水电阻率
≥18MΩ.cm
脱盐率
≥99.99%
设备额定功率
约30Kw
电源
380V, AC, 3 phase
总进水口
DN65 PN1.0法兰连接
出水口
DN40 PN1.0法兰连接

四:更多产品

五、服务

售前服务     

1. 详细了解客户当地的水源状况、水质参数为我们设计制造最适合客户需求的产品提供依据。     
2. 详细了解客户的使用需求及水质要求等技术参数。     
3. 根据客户当地水源状况及水质要求免费提供技术解决方案。                  4. 详细讲解技术方案,确保客户明白所有流程,推荐最适合客户需求的水处理设备。   
5. 根据客户的预算,提供最具性价比的技术解决方案。   
6. 采用最先进的技术工艺、设备和控制技术,提高工作效率,降低生产成本。
 
售中服务   
1. 公司全体员工秉承品质是企业生存之本的理念为您提供服务。      2. 设备制作时严格按照标准的工艺装配图进行安装做到按图施工。    
3. 设备出厂前必须通过内部检验达到内部标准及客户要求后才能出厂。    
4. 在施工期间,做到文明施工保证施工质量,遵循美观实用的原则。     5. 上门安装调试完成后先通过内部验收后再交付客户验收验收满意后在离厂。    
6. 在安装过程中要求客户指定设备维护人员现场跟踪学习。调试完成客户验收后技术员将对客户操作人员及负责人员进行系统完善的设备操作培训确保客户方完全掌握并具备实际操作能力为止。完成调试后提供书面的《设备操作说明书》《验收报告》《培训记录表》《电气控制图》《水处理设备点检表》《运行记录记录表》等相关文件。并要求客户操作人员按时准确的填写设备运行参数以便我们回访时可以更准确的掌握设备的运行情况。
 
售后服务     
1. 建立完善的客户资料档案,定期对设备的运行状况都进行跟踪回访掌握设备的运行状况,分析运行数据并记录在案为客户提供参考意见。    
2. 我们提供系统的服务做到一次购买终身服务。为客户提供整年的服务承诺同时签订服务协议书做到客户使用设备服务我们来做。    
3. 与客户设备维护人员进行技术交流,解答客户问题,并针对客户在使用中遇到的问题提供具体的解决措施。    
4. 接到客户报修电话后,首先详细了解客户报修故障并根据运行记录提供故障诊断。电话沟通解决不了的提供上门解决。(质保期内的设备免费上门解决过了质保期的设备收取差旅费及维修费用)。    
5. 用户对我公司产品提出质量投诉,公司保证在接到投诉后的最短时间内作出处理(省内各地区 8 小时内,其它地区 24 小时内)。若需现场解决的,保证安排技术人员上门解决并做到问题不解决技术人员不撤离。对用户反馈的产品质量问题及处理结果,我公司予以存档并跟踪回访。
保修政策    
1. 设备保质期为验收合格后 24 个月为止(特殊情况另协商)。   
2. 在保质期内,由于设计、制造、安装、调试、材料、设备等原因所造成的系统损坏或故障,均由我公司免费进行保修或更换配件。
3人为误操作故障或自然灾害将不在免费质保范围内。设备的损坏或认为引起的故障,我公司将进行维修或更换,但收取材料费、工本费。
4保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务,并长期以优惠价格向用户供应各种零配件和耗材。

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